英特爾晶圓廠引入 AI 智能體，設備異常檢出速度提升 30%，單一場景年省約 750 萬美元

快科技10月26日消息，据报道，英特尔在半导体晶圆厂的核心公用设备管理中引入智能体AI，实测结果显示设备异常征兆的检出速度较此前提升30%，仅单一场景每年就可节约约750万美元（约合人民币5032万元）成本。

这套系统由多个AI智能体分工协作，Seeq平台作为协调器统一调度。一旦监测到异常信号，系统自动完成原因分析、汇总历史同类案例并生成作业指令初稿，最终由工程师审批确认。核心价值在于省去了工程师以往在多个系统间来回切换、人工排查的流程。

落地对象为超纯水设备、冷水机组、特种气体及化学品供给装置等晶圆厂核心公用工程设备。这类设备虽不直接参与晶圆制造，但一台出现故障就可能导致晶圆污染或产线停摆。尤其是超纯水系统，极微量杂质都不被允许，快速捕捉异常直接关系良率。

效益不止于异常识别提速，自动生成工单将技术人员工作量降低15%至20%，每年节省超12万工时，冷水机组的能源效率也提升约15%。

目前Seeq已接入英特尔全球约70处厂区的系统，整合6500万至7000万条时序信号数据，每周约有1000名工程师在使用该软件。

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责任编辑：红茶

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